实验室用PECVD设备，价格约100万，适用于硅基薄膜沉积、材料研究等实验场景，具备模块化设计、灵活定制等优势，满足科研与开发需求。
实验室用电子束曝光机（EBE）是一种高精度的微纳加工设备，主要用于制备微米及纳米尺度的图形化结构，广泛应用于半导体、微机电系统（MEMS）、纳米材料等领域。
实验室用RIE（反应离子刻蚀）设备是一种高精度材料加工工具，主要通过等离子体的化学反应和物理轰击作用，对固体材料进行各向异性刻蚀。它由气体系统、射频电源、真空系统等关键部件组成，能够精确控制刻蚀气体、调节离子能量和密度，实现对不同材料的精准加工。
主要用于有机生长、器件退火等流程
Cary 5000是一款高性能紫外-可见-近红外分光光度计，在190-3300nm范围内具有优异的光度性能，这使其成为用于材料科学研究的一款功能强大的工具。大样品室经过扩展可以容纳用于光谱和漫反射测试的大附件和积分球。锁定机械装置实现了快速更换和定位附件，从而获得可重现的分析结果。